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愛發(fā)科日本CRYO-U16 進(jìn)口低溫泵 CRYO-U 系列

產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U16

產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac

產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級(jí)GM制冷機(jī)的低溫泵，可進(jìn)行高真空排??氣。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。特征適用于中、大型設(shè)備。適用于批量型大型沉積系統(tǒng)。耐熱負(fù)荷。

產(chǎn)品介紹.

愛發(fā)科日本CRYO-U16 進(jìn)口低溫泵 CRYO-U 系列

抽氣速度(20℃)	氮	升/秒	5,000
	氫		10,000
	氬氣		4,200
	水		16,000
極限壓力	帕(托)		10 ^-7 (10 ^-9 )
流速	氬氣	帕?升/秒(托?升/秒)	1.4×10 ³ (11.0)
	氫		4.1×102 ^（ 3.1）
泵送能力	氬氣	帕?升(托?升)	4.3×10 ⁸ (3.3×10 ⁶ )
	氫		2.4×106 ^（ 1.8× ¹⁰⁴）
冷卻時(shí)間（電源循環(huán)）	小值(Hz)		110/100(50/60)
安裝法蘭			UVG-400
壓縮機(jī)組			C30VRT
重量		公斤	61.0

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