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ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20H 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：CRYO-U20H
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。
ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20H 愛發(fā)科
規(guī)格
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 10,000 |
| 氫 | 18,000 | ||
| 氬氣 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 極限壓力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氬氣 | 帕?升/秒(托?升/秒) | 1.7×10 3 (12.8) |
| 氫 | 5.0×10 2 (3.7) | ||
| 泵送能力 | 氬氣 | 帕?升(托?升) | 5.8×10 8 (4.4×10 6 ) |
| 氫 | 4.6×106 （ 3.4× 104） | ||
| 冷卻時間 （電源循環(huán)） | 小值(Hz) | 160/140(50/60) | |
| 安裝法蘭 | UVG-500,20 B ANSI,ISO-500 | ||
| 壓縮機組 | C30PVRT | ||
| 重量 | 公斤 | 72.0 | |
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